计测・检查・分析机器
一键式3D形状测量仪(现在用于支援事业的研究开发)
| 能力 | 分辨率 0.1μｍ |
|---|---|
| 台数 | 2 台 |
| 厂家 | KEYENCE |
高度・平面度测量仪
| 能力 | 分辨率 0.3μｍ |
|---|---|
| 台数 | 1 台 |
| 厂家 | KEYENCE |
图像尺寸测量仪
| 能力 | 高精度模式 重复精度 ±0.5μｍ，测量精度 ±2.0μｍ |
|---|---|
| 台数 | 4 台 |
| 厂家 | KEYENCE |
3维测量机（大型）
| 能力 | 测量精度：2.6＋3.0Ｌ/1000≦4.9μm |
|---|---|
| 台数 | 2 台 |
| 厂家 | 东京精密 |
轮廓形状测量机
| 能力 | 测量精度：±0.25% |
|---|---|
| 台数 | 5 台 |
| 厂家 | 东京精密 |
投影仪
| 能力 | 测量精度：4＋（L/25）μｍ(V24) |
|---|---|
| 台数 | V24型2台、V20型1台、V16型4台、V12型4台 |
| 厂家 | Nikon |
真圆度测量机
| 能力 | 测量精度：0.05+6H/10000μm |
|---|---|
| 台数 | 3 台 |
| 厂家 | 东京精密 |
金属异物发现机
| 能力 | 測定精度: 分解能 1.283µm |
|---|---|
| 台数 | 1 台 |
| 厂家 | Nireco |
涡流探伤装置
| 能力 | 测量精度：可检测出Φ3.0以上的贯通孔、深度50μｍ以上的伤 |
|---|---|
| 台数 | 10 台 |
| 厂家 | ibg、他 |
荧光X线分析装置
| 能力 | 测量范围：13Al～92U |
|---|---|
| 台数 | 1 台 |
| 厂家 | 岛津制作所 |
