計測・検査・分析機器
ワンショット３Ｄ形状測定機(サポイン事業にて研究開発に使用中)
| 能力 | 分解能 0.1μｍ |
|---|---|
| 台数 | 2 台 |
| メーカー | KEYENCE |
高さ・平面度測定機
| 能力 | 分解能 0.3μｍ |
|---|---|
| 台数 | 1 台 |
| メーカー | KEYENCE |
画像寸法測定機
| 能力 | 高精度モード 繰り返し精度 ±０．５μｍ、測定精度 ±２．０μｍ |
|---|---|
| 台数 | 4 台 |
| メーカー | KEYENCE |
３次元測定機(大型)
| 能力 | 測定精度: 2.6＋3.0Ｌ/1000≦4.9μm |
|---|---|
| 台数 | 2 台 |
| メーカー | 東京精密 |
輪郭形状測定機
| 能力 | 測定精度: ±0.25% |
|---|---|
| 台数 | 5 台 |
| メーカー | 東京精密 |
投影機
| 能力 | 測定精度: 4+(L/25)µm(V24) |
|---|---|
| 台数 | V24型 2台、V20型 1台、V16型 4台、V12型 4台 |
| メーカー | Nikon |
真円度測定機
| 能力 | 測定精度: 0.05+6H/10000µm |
|---|---|
| 台数 | 3 台 |
| メーカー | 東京精密 |
コンタミカウンター
| 能力 | 測定精度: 分解能 1.283µm |
|---|---|
| 台数 | 1 台 |
| メーカー | ニレコ |
渦流探傷装置
| 能力 | 測定精度: Φ3.0以上の貫通孔、深さ50µm以上のキズを検出 |
|---|---|
| 台数 | 10 台 |
| メーカー | ibg、他 |
蛍光Ｘ線分析装置
| 能力 | 測定範囲: 13Al～92U |
|---|---|
| 台数 | 1 台 |
| メーカー | 島津製作所 |
